详细介绍
电镀层厚度测试设备
以下介绍经常使用的电镀膜厚检测设备:
产品概述
产品类型: 能量色散X荧光光谱分析设备
产品名称: 镀层厚度分析仪
型 号: iEDX-150T
原 产 商: 韩国ISP公司
产品优势及特征
(一)产品优势
1. 镀层检测,检测层数范围1-5层;镀层测量精度可达0.001μm。
2. 全自动操作平台,平台尺寸80X2*75X2*90(X*Y*Z);
3. 激光定位和自动多点测量功能;
4. 检测的样品可以为固体、液体或粉末;
5. 运行及维护成本低、无易损易耗品,对使用环境相对要求低;
6. 可进行未知标样扫描、无标样定性、半定量分析;
7. 操作简单、精准无损、高品质、高性能、高稳定性,快速检测(5-40秒依配置而定);
8. 顶级配置:SDD探测器、超长寿命X射线管、SPELLMAN高压电源,仪器使用寿命长。
9. 超高分辨率:125±5电子伏特(电子伏特越低分辨率越高,检测越精准,这是能谱仪一个非常关键的技术指标);
10. 可针对客户个性化要求量身定做辅助分析配置硬件;
11. 软件升级;
12. 无损检测,一次性购买标样可使用;
13. 使用安心无忧,售后服务响应时间24H以内,提供保姆式服务;
14. 具有远程服务功能,在客户请求的情况下,可远程进行仪器维护;
(二)产品特征
1. 高性能高精度X荧光光谱仪(XRF)
2. 计算机 / MCA(多通道分析仪)
2048通道逐次近似计算法ADC(模拟数字转换器)
3. Multi Ray. 运用基本参数法(FP)软件,对样品进行精确的镀层厚度分析,可对镀液进行定量分析。
MTFFP (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度及全元素分析
励磁模式 50987.1 DIN / ISO 3497-A1
吸收模式 50987.1 DIN / ISO 3497-A2
线性模式进行薄膜镀层厚度测量
相对(比)模式 无焦点测量 DIN 50987.3.3/ ISO 3497
多镀层厚度同时测量
单镀层应用 [如:Cu/ABS等]
双镀层应用 [如:Ag/Pd/Zn, Au/Ni/Cu等]
三镀层应用 [如:Au/Ni-P/Cu/Brass等]
四镀层应用 [如:Cr/Ni/Cu/Zn/SnPb等]
合金镀层应 [如:Ni-Zn/Fe Sn-Ni/ABS Pd-Ni/Cu/ABS等]
4. Multi-Ray. 快速、简单的定性分析的软件模块。可同时分析20种元素。半定量分析频谱比较、减法运算和配给。
Multi-Ray 金属行业精确定量分析软件。可同时分析8种元素。最小二乘法计算峰值反卷积。采用卢卡斯-图思计算方法进行矩阵校正及内部元素作用分析。金属分析精度可达±0.02%,贵金属(8-24 Karat) 分析精度可达±0.05kt
Multi-Ray. 对镀液进行分析。采用不同的数学计算方法对镀液中的金属离子进行测定。含全元素、内部元素、矩阵校正模块。
5. Multi-Ray WINDOWS 7软件操作系统
6. 完整的统计函数均值、 标准差、 低/高读数,趋势线,Cp 和 Cpk 因素等
8. 自动移动平台,用户使用预先设定好的程序进行自动样品测量,自动多点分析。每个阶段的文件有最多 25 个不同应用程序。特殊工具如"线扫描"和"格栅"。每个阶段文件包含*统计软件包。包括自动对焦功能、方便加载函数、瞄准样品和拍摄、激光定位和自动多点测量功能。
技术指标
多镀层分析,1~5层;
测试精度:0.001 μm;
元素分析范围从铝(Al)到铀(U);
测量时间:10~30秒;
SDD探测器,能量分辨率为125±5eV;
探测器Be窗0.5mil(12.7μm);
微焦X射线管50kV/1mA,钼,铑靶(高配微焦钼靶);
6个准直器及多个滤光片自动切换;
XYZ三维移动平台,MAX荷载为5公斤;
高清CCD摄像头(200万像素),准确监控位置;
多变量非线性去卷积曲线拟合;
高性能FP/MLSQ分析;
仪器尺寸:618×525×490mm;
样品台尺寸:250×220mm;
样品台移动范围:前后左右各80mm、高度90mm。
1)、硬件参数:
1. X射线管:高稳定性X射线管,使用寿命(工作时间>8,000小时)
微焦点x射线管
铍窗口, 光斑尺寸75um,油绝缘,气冷式,辐射安全电子管屏蔽。
50kV,1mA。高压和管流设定为应用程序提供最佳性能。
2. 探测器:Si-Pin探测器
能量分辨率:149±5eV
3. 滤光片/可选
初级滤光片:Al滤光片,自动切换
多准直器:0.2,0.3,0.5mm可选
测试点大小:准直器面积的1.5倍
4. 平台:软件程序控制步进式电机驱动X-Y-Z轴移动大样品平台。
激光定位、简易荷载最大负载量为5公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
5. 样品定位:显示屏上显示样品锁定、简易荷载、激光定位及拍照功能
6. 分析谱线:
7.视频系统:高分辨率CCD摄像头、彩色视频系统
- 观察范围:3mm x 3mm
- 放大倍数:40X
- 射线方向:上照式
- 软件控制取得高真图像
8. 检测厚度(正常指标):
- 原子序数 22 - 24 : 6 ~ 1000 微英寸
- 原子序数 25 - 40 : 4 ~ 1200 微英寸
- 原子序数 41 - 51 : 6 ~ 3000 微英寸
- 原子序数 52 - 82 : 2 ~ 500 微英寸
9. 计算机、打印机(赠送)
2)、光谱仪软件功能
1)软件应用
单镀层测量
线性层测量,如:薄膜测量
双镀层测量
针对合金可同时进行镀层厚度和元素分析
三镀层测量。
无电镀镍测量
电镀溶液测量
吸收模式的应用 DIN50987.1/ ISO3497-A2
- 励磁模式的应用DIN50987.1/ ISO3497-A1
基本参数法目前是镀层领域最佳解决方案。
2) 软件标定方法
自动标定曲线进行多层分析
- 使用无标样基本参数计算方法
- 使用标样进行多点重复标定
- 标定曲线显示参数及自动调整功能
3) 软件校正功能:
- 基点校正(基线本底校正)
- 多材料基点校正,如:不锈钢,黄铜,青铜等
- 密度校正
4) 软件测量功能:
- 快速开始测量
- 快速测量过程
- 自动测量条件设定(光管电流,滤光片,ROI)
5) 自动测量功能(软件平台)
- 同模式重复功能(可实现多点自动检测)
- 确认测量位置 (具有图形显示功能)
- 测量开始点设定功能(每个文件中存储原始数据)
- 测量开始点存储功能、打印数据
- 旋转校正功能
- TSP应用
- 行扫描及格栅功能
6) 光谱测量功能
- 定性分析功能 (KLM 标记方法)
- 每个能量/通道元素ROI光标
- 光谱文件下载、删除、保存、比较功能
- 光谱比较显示功能:两级显示/叠加显示/减法
- 标度扩充、缩小功能(强度、能量)
7) 数据处理功能
- 监测统计值: 平均值、 标准偏差、 最大值。
- 最小值、测量范围,N 编号、 Cp、 Cpk,
- 独立曲线显示测量结果。
- 自动优化曲线数值、数据控件
8)其他功能
- 系统自校正取决于仪器条件和操作环境
- 独立操作控制平台
- 视频参数调整
- 仪器使用单根USB数据总线与外设连接
- Multi-Ray自动输出检测报告(HTML、Excel、PDF)
- 屏幕捕获显示监视器、样本图片、曲线等.......
- 数据库检查程序
- 镀层厚度测量程序保护。
9) 仪器维修和调整功能
产品保修及售后服务
1. 协助做好安装场地、环境的准备工作、指导并参与设备的安装、测试、诊断及各项工作。
2. 对客户方操作人员进行培训。
3. 安装、调试、验收、培训及技术服务均为免费,在用户方现场对操作人员进行培训。
4. 整机保修一年(X光管保修两年),终身维修,保修期从我司验收合格后并正式投入使 用之日起计算。
5. 免费提供软件升级
6. 保修期内,提供全天 24小时(包含节假日)技术支持及现场维护服务。在接到设备故障报修后,提供远程故障解决方案(1小时内), 如有需要,24小时内派人上门维修和排除故障。
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