电镀膜厚检测仪是用于精确测量金属、合金或非导体表面电镀层(如金、银、镍、铬、锌、锡等)厚度的关键检测设备,广泛应用于电子制造、五金电镀、汽车零部件、珠宝首饰及质量控制领域。其测量结果直接影响产品性能、耐腐蚀性与成本控制。现代电镀膜厚检测仪多采用X射线荧光(XRF)或涡流、磁感应等无损检测技术,整机由多个精密部件协同工作,确保测量的准确性、重复性与高效性。

1、X射线发生器
作为核心激发源,X射线管发射高能射线照射样品表面,激发电镀层原子产生特征X射线荧光。其稳定性、靶材类型(如Rh、Cr、Ag靶)和电压/电流可调范围直接影响激发效率和检测灵敏度。高性能X射线管具备长寿命、低漂移特点,适用于多层膜、微量元素分析。
2、探测器
用于接收样品发出的荧光X射线,并将其转换为电信号。常见类型包括硅漂移探测器(SDD)和正比计数器。SDD具有高分辨率、快速响应和低噪声优势,可同时分辨多种元素的特征峰,提升测量精度,尤其适用于薄层、多层镀层分析。
3、光路系统与准直器
由准直器、滤光片和聚焦光学元件组成,用于控制X射线束的大小、方向和能量分布。准直器决定测量光斑尺寸(如0.1mm、1mm),实现微区测量;滤光片可优化入射光谱,减少基材干扰,提高信噪比。
4、样品台与定位系统
配备可调节的三维样品台,支持不同尺寸和形状的工件放置。部分机型集成自动XY位移平台,可编程进行多点连续测量,提升检测效率。真空或氦气环境模块(可选)用于增强轻元素(如Mg、Al)的检测能力。
5、控制与数据处理系统
内置高性能处理器和专用分析软件,负责控制X射线参数、采集光谱数据、进行谱线解谱与定量计算。软件可预设多种测量模式(单层、双层、合金成分),自动识别元素并计算膜厚,支持数据存储、统计分析与报告生成。
6、显示与操作界面
配备高清彩色触摸屏,直观显示光谱图、测量结果、样品图像(部分带摄像头)及操作菜单,支持中英文切换,操作简便,适合现场快速检测。
7、防护与安全系统
仪器外壳采用铅合金或高密度材料屏蔽X射线,配备联锁装置:当检测仓门打开时,X射线自动关闭,确保操作人员安全。符合国际辐射安全标准(如FDA、CE认证)。
8、冷却系统
X射线管工作时产生热量,需通过风冷或热电冷却系统散热,维持稳定工作温度,防止性能漂移。
9、校准标准片
配备已知厚度的镀层标准样品(如Au/Ni/Cu、Cr/Fe等),用于仪器日常校准与验证,确保测量准确性。